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產品詳情
Product details
產品說明
真空等離子處理儀屬于電子工業的干法清洗，在一定的真空條件下，對氣體施加能量使其成為等離子狀態，等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發態的核素（亞穩態）、光子等，通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、涂覆等目的。通過使用等離子體處理樣品表面從而實現表面清潔，表面改性，表面刻蝕，表面接枝的目的，最后將污染物轉化為氣態，并通過真空泵用連續氣流將其排出。
產品特性
原裝強效電源：采用原裝高壓激勵電源電路技術，產生高密度等離子體，確保出眾的清洗效果。
全面安全防護：溫度安全防護功能，過載防護功能，短路斷路報警防護功能，各種誤操作保護功能。
獨有的放電技術：特殊處理及特殊結構的放電裝置，確保形成穩定均勻的等離子體。
密封性優良的真空腔體設計：高真空度真空腔體設計及制造工藝，配置強力真空泵。
優質的產品部件：產品全部部件采用國內外優質部件，確保設備性能優越。
超低清洗溫度：滿足不同場合溫度要求，不對清洗產品造成溫度影響。
精密數控加工：進口精美CNC數控機床加工工藝，并配備進口三坐標測量儀進行質量監控。
適用于形狀復雜樣品：清洗各種復雜形狀的產品，包括內孔內壁，均勻清洗。
定制設計 ：可定制40Khz、13.56Mhz、2.45Ghz三種頻率，電極數量可定制，腔體尺寸可定制。
產品參數
| 產品型號 | SN-ZK05D-40 | 腔體容量 | 5L |
| 腔體尺寸(mm) | Φ150*D260 | 頻率 | 40kHz |
| 功率 | 200W | 主機尺寸(mm) | W415*D600*H450 |
| 電極層數 | 1層 | 流量計 | 2通道浮子流量計 |
| 操作面板 | 觸摸7寸 | 流量范圍 | 50-500sccm |
應用領域
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航天研究所
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生命科學
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高校實驗室
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醫療研究
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